Mikrosystemtechnik
IPA: / mˌiːkɾoːzystˈeːmtɛçnˌɪk /
Technologiezweig, der die Herstellung mikroskop. kleiner mechan. oder elektromechan. Bauteile (Teilgebiet Mikromechanik) u. ihre Kombination mit mikroelektron. Schaltkreisen, opt. Elementen u. Sensoren auf der Basis von einkristallinem Silizium zum Ziel hat.
Sinonimi i slične reči
Mikrosystemtechnologie
Reči u blizini
Mikrosporie · Mikrosteuerung · Mikrostreifen · Mikrostrom · Mikrostruktur · Mikrosystemtechnik · Mikrotom · Mikrotubuli · Mikroverfilmung · Mikrowelle · Mikrowellen